真空镀膜机系统的虚漏及漏孔堵塞

2018-06-08  来自: 东莞市兴族(纳米科技)实业有限公司 浏览次数:284

  真空镀膜机系统的虚漏及漏孔堵塞

  真空器件和真空容器达不到预期真空度的原因,除了漏气之外,还可以是由于材料出气或者虚漏的原因。虚漏是由于设计或制造加工工艺不当,在系统内形成贮存气源的洞穴,这些气体在真这环境下慢慢释放出来,形同漏气,帮称虚漏。例如,真空系统内的紧固螺钉没有出气孔,焊缝交叉设计,焊接不完善留有孔穴等都会造成虚漏现象,真空系统中的冷阱若使用不当也会产生虚漏。对于超高真空系统来说,残余气体中的二氧化碳可能冷凝在液氮冷阱上成霜,这也是一个虚漏气源。

  漏孔地堵塞现象

  超高真空系统容器、电真空器件的漏孔往往是直径在微米数量级的小漏孔,空气中的尘埃或液体都很容易造成漏孔的堵塞,这些考完常常是暂时性的,检漏时好像不漏,但经过抽气之后,又会出现漏气。为了检查,一定要仔细处理好检漏部位,尽量不用手去摸被检测区域,避免尘埃或油脂堵塞漏孔。

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