镀膜机使用步骤

2018-06-11  来自: 东莞市兴族(纳米科技)实业有限公司 浏览次数:206

  镀膜机使用步骤,真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

  1. 开水泵、气源。

  2. 开总电源。

  3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。

  4. 开机械泵、预抽,开涡轮分子泵电源、并启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。

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