真空纳米镀膜机关机顺序介绍

2018-02-12  来自: 东莞市兴族(纳米科技)实业有限公司 浏览次数:374

  真空纳米镀膜机关机顺序介绍,真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

  1. 关高真空表头、关分子泵。

  2. 待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。

  3. 到50以下时,再关维持泵。

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