真空纳米镀膜机操作程序

2018-04-12  来自: 东莞市兴族(纳米科技)实业有限公司 浏览次数:310

  真空纳米镀膜机操作程序,真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

  ① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。

  ② 打开总电源开关,设备送电。

  ③ 低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。

  ④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。

  ⑤ 落下钟罩。

  ⑥ 启动抽真空机械泵。

  ⑦ 开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。

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