耐铠斯镀膜机晶向均匀性

2017-11-23  来自: 东莞市兴族(纳米科技)实业有限公司 浏览次数:363

  耐铠斯镀膜机晶向均匀性有哪些?镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

  1。晶格匹配度

  2。 基片温度

  3。蒸发速率

  溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。

  溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。

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