真空纳米镀膜机主要分类有哪些

2017-10-31  来自: 东莞市兴族(纳米科技)实业有限公司 浏览次数:370

  真空纳米镀膜机主要分类有哪些?真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

  一、对于蒸发镀膜:

  一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。

  厚度均匀性主要取决于:

  1。基片材料与靶材的晶格匹配程度

  2、基片表面温度

  3. 蒸发功率,速率

  4. 真空度

  5. 镀膜时间,厚度大小。

  组分均匀性:

  蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。

  晶向均匀性:

  1。晶格匹配度

  2。 基片温度

  3。蒸发速率

  溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。

  溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。

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