镀膜机的膜厚测量方法

2019-08-08  来自: 东莞市兴族(纳米科技)实业有限公司 浏览次数:510

  镀膜机的膜厚测量方法, 镀膜设备顾名思义就是用来镀膜的,镀上的膜的厚度是有要求的,今天为大家讲的是膜厚的测量方法以及检测的方法,希望能给大家带来帮助。

  涂层的镀膜设备控制方法是直接的石英晶体微天平(QCM)的方法,该仪器可以直接驱动的蒸发源,通过PID控制回路传动挡板,使蒸发率。只要仪器和系统控制软件的连接,它可以控制涂层的全过程。但(QCM)的准确性是有限的,镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。

  此外,虽然QCM在低温下非常稳定,但温度高,它将成为对温度很敏感。在长时间的加热过程中,镀膜机很难避免传感器为敏感的区域,导致薄膜的重大错误。 光学监测是一种高精度涂层***的监控模式,镀膜机这是因为它能准确控制膜的厚度(如果使用得当)。

  精度的提高,由于许多因素,但根本的原因是光学厚度的监测。optimalswa-i-05单一波长的光学监测系统,是间接控制,镀膜机***的光学监测软件结合王博士的发展,有效地改善和灵敏度变化的光反应的膜厚度的减少误差的理论方法,提供监测波长的反馈或传输模式的选择和广泛的。特别适用于涂布各种薄膜厚度监控包括不规则的膜。

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